潔凈室等級(jí)之千級(jí)潔凈度

要了解千級(jí)潔凈室，我們先來(lái)了解“無(wú)塵”這個(gè)概念。

按例，潔凈室等級(jí)主要是根據(jù)每立方米空氣中塵埃粒子直徑超過(guò)劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂“無(wú)塵“并非沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)極低的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，在光學(xué)設(shè)備生產(chǎn)廠房中，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，千級(jí)的粒子數(shù)量是必然的要求。

潔凈度：

將不大于0.5微米粒徑的塵埃粒子數(shù)量控制在每立方米3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A等級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A等級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱(chēng)的1K級(jí)別。

壓差：

對(duì)于大部分凈化無(wú)塵車(chē)間，為了防備外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:潔凈區(qū)域的壓力要高于非潔凈區(qū)域的壓力;潔凈度級(jí)別高的區(qū)域的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的區(qū)域的壓力;相通潔凈室之間的門(mén)要開(kāi)向潔凈度級(jí)別高的房間。

壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。

溫濕度：常規(guī)是溫度22±2度，濕度55±5%。

應(yīng)用場(chǎng)合：芯片生產(chǎn);高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn);還用于測(cè)試，裝配飛機(jī)蛇螺儀;裝配高質(zhì)微型軸承等。

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